EMS電鏡耗材通過微孔(kong)可(ke)觀察到碳顆(ke)粒的晶面(mian)間(jian)距(ju),膜(mo)上形(xing)成的多晶(jing)金(jin)團簇,在(zai)這些(xie)團(tuan)簇的邊緣(yuan)可(ke)分辨(bian)出晶(jing)格,此(ci)樣(yang)品(pin)還(hai)可(ke)以(yi)通過標註鍍(du)金(jin)膜(mo)上(shang)孔(kong)內碳的沈積率(lv)來(lai)測(ce)定電鏡的混染(ran)率。帶(dai)有乳(ru)膠(jiao)狀(zhuang)顆(ke)粒的網(wang)狀格柵(zha),既可以(yi)利用(yong)格柵(zha)間距進(jin)行(xing)放大(da)倍(bei)數(shu)校正,又可(ke)通(tong)過測量(liang)格柵(zha)上乳膠(jiao)顆(ke)粒的大小(xiao)來(lai)進(jin)行(xing)校正,特別(bie)適(shi)用(yong)於透(tou)射電鏡更高(gao)放大(da)倍(bei)數(shu)的校正。利用(yong)電子和物(wu)質的相互(hu)作(zuo)用(yong),可以(yi)獲取被(bei)測樣(yang)品(pin)本身(shen)的各種(zhong)物(wu)理、化(hua)學(xue)性(xing)質的信息。
掃(sao)描(miao)電子顯(xian)微(wei)鏡正是(shi)根(gen)據(ju)上(shang)述不同(tong)信息產生(sheng)的機(ji)理(li),采(cai)用(yong)不同(tong)的信息檢測(ce)器(qi),使(shi)選擇檢(jian)測(ce)得以(yi)實現。如(ru)對二(er)次(ci)電子、背散射電子的采(cai)集,可(ke)得到有關(guan)物(wu)質微(wei)觀形貌(mao)的信息,對x射(she)線的采(cai)集,可(ke)得到物(wu)質化(hua)學(xue)成分的信息。
而(er)當放(fang)大率(lv)倍(bei)數(shu)較(jiao)高(gao)的時(shi)候(hou),復雜(za)的波(bo)動(dong)作(zuo)用(yong)會造成成像(xiang)的亮度的不同(tong),因(yin)此(ci)需要專業(ye)知(zhi)識來(lai)對(dui)所得到的像進(jin)行(xing)分析。通過使(shi)用(yong)TEM不同(tong)的模(mo)式,可(ke)以(yi)通過物(wu)質的化(hua)學(xue)特(te)性(xing)、晶體(ti)方(fang)向(xiang)、電子結(jie)構(gou)、樣(yang)品(pin)造成的電子相(xiang)移以(yi)及通常的對電子吸(xi)收(shou)對樣(yang)品(pin)成像(xiang)。